洁净室检测的压差
正压差值并非是越大越好,许多理论研究和实践都证明,人员物料通过门时,即便门两侧关门压差高达 1~1Pa,仍难避免随人员、物料向内移动时携带气流将污染带入室内。
特别是当门两侧存在温度差别时,门敞开后,洁净间检测报告,即便无人走动,在开口断面部分面积上也存在逆向气流,带入空气的悬浮污染物。
此外,过高的正压差还会造成洁净室的门既难开启又难关严,门缝气流造成哨声噪音,以及因气流外溢过量而补风量增加,浪费能源和加重各级过滤器负担。
洁净室检测技术
亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。
指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(范畴谓之)。
人是污染源的发源地:人体每分钟散发10万个粒子(粒径≥0.5μm)。
每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。
半导体洁净室内微污染来源,洁净间检测,经测试,作业人员占80%。
洁净度检测时,使用光散射粒子计数器的取样量
关于尘埃粒子计数器检测时的空气取样量,洁净间检测标准,在GBJ73-84中规定:对于100级的净化车间,每次取样量应大于或等于1L,对于1000~10000级的净化车间,洁净间检测报价,每次取样量应大于或等于0.3L,对于10000级的净化车间,每次取样量应大于或等于0.1L。
对于100级净化车间,宜采用大流量粒子计数器进行测试。
如果不具备,也应采用每次采样量不小于1L的粒子计数器。
在对净化车间进行洁净度检测时,尽管规定了空气的小采样量,但在实际工作中,我们应在保证小采样量前提条件下,根据已有的检测设备,尽量采用大流量的尘埃粒子计数器。
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