洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室气流流向检测

一、测试仪器

1. 支架 2. 铅垂线 3.Flo-Viz 细线 4 .气流流向检测仪

二、测试步骤

1. 用支架设立垂线作为基准线。

2. 将细线在室内悬吊，使其自然下垂，洁净度检测设备，细线会随空气流向飘移。 计算偏移角=tan-1( 悬吊线徧移量 /1220) 。 6. 每 3m×3m 区域量 1 点。 若是使用烟雾，其方式很类似，洁净度检测，就是在滤网下施放烟雾，然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触，将红线当成烟雾，再计算夹角就可以了。 

洁净室污染源传播的途径

不但要弄清洁净室的污染源是哪些，其污染途径同样需要分析清楚。从大的方面来看，洁净室的污染粒子主要是通过空气传播与接触传播。但在很多情况下，这两种传播途径是交替存在的、协同传播的。所有的主要污染源都会将所发生、携带的污染粒子散布到空气中，洁净度检测服务，微小的粒子会在空气中扩散，或随气流运动并接触到洁净室的产品或研究对象而构成污染。这些微粒子还可能粘附在墙面、地面、设备表面上，因人员操作、走动或气流的扰动又重新扩散到空气中去，形成二次污染。

较大的粒子如碎屑、细末和纤维，洁净度检测标准，不会远离其生成的地点，但也存在掉落在产品、产品构件之中，或者附着在它们的表面上构成污染。这些粒子还会掉落﹑粘附在操作人员的手套、服装上，随后又污染了其他的产品和洁净室表面。

但机器设备、容器、包装、原材料、手套、服装等与产品直接接触时，附着其上的污染物就可以通过“接触”这个途径传播给产品。

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